东京精密轮廓测量机SURFCOM NEX040

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东京精密轮廓测量机SURFCOM NEX040

轮廓测量 高精度传感器 NEX 040 E-DT-CH19B 实现测力自动调整机构的高精度传感器 搭载了新型激光衍射光栅尺的高精度传感器,全范围的测量分辨率为0.02μmZ轴测量 范围为60 mm,在快速更换测臂机构上更添加了测力自动调整机构。可选 配上下同时测量 测量分辨率 0.04 μm (全量程) 指示精度  ±1.5 + |2H|/100 μm 测量分辨率 0.02 μm (全量程) 指示精度  ±0.8 + |2H|/100μm

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