东京精密轮廓测量机SURFCOM NEX030

轮廓测量 高精度传感器　NEX 040 E-DT-CH19B 实现测力自动调整机构的高精度传感器 搭载了新型激光衍射光栅尺的高精度传感器，全范围的测量分辨率为0.02μm。Z轴测量 范围为60 mm，在快速更换测臂机构上更添加了测力自动调整机构。可选 配上下同时测量 测量分辨率　0.04 μm （全量程） 指示精度　　±（1.5 + |2H|/100） μm 测量分辨率　0.02 μm （全量程） 指示精度　　±（0.8 + |2H|/100）μm